[发明专利]超结结构及其制造方法有效
| 申请号： | 201811546185.0 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111341828B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 肖胜安 | 申请（专利权）人： | 深圳尚阳通科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超结结构，由两层超结子结构叠加而成，两层P型子柱都由填充于对应的子沟槽中的P型子外延层组成，子沟槽都为侧面倾斜且顶部宽度大于底部宽度的结构，位于底层的第一超结子结构的最佳电荷平衡加正负5％的变化范围对应的位置的设置顶部表面，第二超结子结构的最最佳电荷平衡加正负5％的变化范围对应的位置的设置底部表面，使超结结构的击穿位置位于两层超结子结构的接触位置处。本发明还公开了一种超结结构的制造方法。本发明能提高器件性能如击穿电压和雪崩耐量的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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