[发明专利]一种柔性力学图案化传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201811535288.7 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109580050B | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 于贺;练芸路;太惠玲;黎威志;杜晓松;谢光忠 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 51230 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 | 代理人： | 白小明 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性力学图案化传感器，包括第一柔性衬底层、第二柔性衬底层以及柔性敏感层；第一柔性衬底层的下表面上刻蚀有第一图案，第二柔性衬底层的上表面上刻蚀有第二图案，第一柔性衬底层的上表面和第二柔性衬底层的下表面粘接，柔性敏感层采用化学方法复合于第二柔性衬底层的上表面上；第一柔性衬底层、第二柔性衬底层以及柔性敏感层形成一个整体结构，所述整体结构外复合有柔性封装层；该传感器上还电连接有两个电极，两个电极均贯穿所述柔性封装层且伸出，在第二柔性衬底层上刻蚀第二图案能够提高柔性敏感层自身的灵敏度和拉伸性能，通过设计不同的结构，满足不同传感器的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性衬底层 敏感层 传感器 上表面 刻蚀 柔性封装层 电极 图案化 下表面 图案 力学 复合 电连接 灵敏度 拉伸 粘接 制备 伸出 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种柔性力学图案化传感器，其特征在于，包括第一柔性衬底层(1)、第二柔性衬底层(2)以及柔性敏感层(3)；/n第一柔性衬底层(1)的下表面上刻蚀有第一图案，第二柔性衬底层(2)的上表面上刻蚀有第二图案，/n第一柔性衬底层(1)的上表面和第二柔性衬底层(2)的下表面粘接，柔性敏感层(3)采用化学方法复合于第二柔性衬底层(2)的上表面上；/n第一柔性衬底层(1)、第二柔性衬底层(2)以及柔性敏感层(3)形成一个整体结构，所述整体结构外复合有柔性封装层(4)；/n该传感器上还电连接有两个电极(5)，两个电极(5)均贯穿所述柔性封装层(4)且伸出；/n刻蚀有所述第一图案的所述柔性衬底层(1)呈现为具有拉胀性能的凹角结构、手性结构或旋转刚体结构。/n
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