[发明专利]具有小的衍射的硅基液晶面板及制造其的工艺有效
| 申请号： | 201811529624.7 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109960087B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 张明;翁立波;赵诚;钱胤;缪佳君;戴幸志;林志强 | 申请（专利权）人： | 豪威科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;G02F1/1343;G02F1/1337;G02F1/1333;G02F1/1339 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 张雅文 |
| 地址： | 美国加州圣克*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅基液晶(LCOS)面板及制造其的工艺。硅基液晶面板包括：硅衬底，具有位于所述硅衬底内的硅电路；多个金属电极，设置在所述硅衬底上，其中所述多个金属电极周期性地形成在所述硅衬底上；介电材料，设置在所述多个金属电极中的相邻的金属电极之间的间隙中并填充所述间隙；以及氧化物层，设置在所述多个金属电极以及位于所述多个金属电极中的相邻的金属电极之间的所述间隙中的所述介电材料上；其中所述介电材料的折射率高于所述氧化物层的折射率。本发明提供的硅基液晶面板可具有小的衍射。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 衍射 液晶面板 制造 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种硅基液晶面板，其特征在于，包括：硅衬底，具有位于所述硅衬底内的硅电路；多个金属电极，设置在所述硅衬底上，其中所述多个金属电极周期性地形成在所述硅衬底上；介电材料，设置在相邻的金属电极之间的间隙中并填充所述间隙；以及氧化物层，设置在所述多个金属电极以及位于相邻的金属电极之间的所述间隙中的所述介电材料上，其中所述介电材料的折射率高于所述氧化物层的折射率。
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