[发明专利]一种真空腔室有效
| 申请号： | 201811523752.0 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111326385B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 刘海洋;邱勇;侯永刚;王铖熠;李娜;陈兆超;胡冬冬;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京得信知识产权代理有限公司 11511 | 代理人： | 孟海娟;崔建丽 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种真空腔室，包括：腔室主体(1)、内衬(2)和异型门阀(3)，腔室主体(1)的一个面(12)设有第一开口(11)，内衬(2)设置于腔室主体(1)内，在与第一开口(11)相应的位置设置有第二开口(21)，异型门阀(3)包括挡板(4)、水平推杆(5)、竖直推杆(6)和阀座(7)，挡板(4)的水平和竖直运动分别由水平推杆(5)和竖直推杆(6)控制，挡板(4)和水平推杆(5)之间、水平推杆(5)和竖直推杆(6)之间均采用真空波纹管连接，异型门阀(3)通过阀座(7)安装在面(12)的第一开口(11)下方，通过开启或关闭挡板(4)使第一开口(11)和第二开口(21)暴露或封闭。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空腔 | ||
【主权项】：
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