[发明专利]OLED基板及其图案偏移检测方法、装置有效
申请号: | 201811519123.0 | 申请日: | 2018-12-12 |
公开(公告)号: | CN109767994B | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 罗志猛;赵云 | 申请(专利权)人: | 信利半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L27/32 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 吴平 |
地址: | 516600 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种OLED基板及其图案偏移检测方法、装置,所述基板设有显示区和检测区,显示区形成第一图案和第二图案,所述方法包括:获取与第一图案对应的第一检测图案和与第二图案对应的第二检测图案,第一检测图案与第二检测图案之间具有预设偏移量;在显示区形成第一图案和第二图案的同时,在检测区形成第一检测图案和第二检测图案;获取形成后的第一检测图案与第二检测图案之间的偏移量;根据偏移量和预设偏移量,获取第一图案与第二图案之间的偏移量。由此,通过在显示区外设置与第一图案和第二图案相对应的第一检测图案和第二检测图案,以将第一图案和第二图案显化,从而有利于实现对第一图案与第二图案的套嵌情况的检测。 | ||
搜索关键词: | oled 及其 图案 偏移 检测 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种OLED基板的图案偏移检测方法,其特征在于,所述基板设有显示区和检测区,所述显示区形成第一图案和第二图案,所述方法包括:获取与所述第一图案对应的第一检测图案和与所述第二图案对应的第二检测图案,所述第一检测图案与所述第二检测图案之间具有预设偏移量;在所述显示区形成所述第一图案和所述第二图案的同时,在所述检测区形成所述第一检测图案和所述第二检测图案;获取形成后的所述第一检测图案与所述第二检测图案之间的偏移量;根据形成后的所述第一检测图案与所述第二检测图案之间的偏移量和所述预设偏移量,获取所述第一图案与所述第二图案之间的偏移量。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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