[发明专利]光致抗蚀剂面涂层组合物和处理光致抗蚀剂组合物的方法在审
| 申请号： | 201811511152.2 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN109988478A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | I·考尔;C·吴;J·A·凯茨;李明琦;D·康;候希森;C·刘 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C09D133/10 | 分类号： | C09D133/10;C09D133/16;C09D7/63;C09D7/65;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： |
光致抗蚀剂面涂层组合物，其包含：第一聚合物，其是水性碱溶性的并且以所述组合物的总固体计以70到99wt％的量存在；第二聚合物，其包含具有通式(IV)的重复单元和具有通式(V)的重复单元： |
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| 搜索关键词： | 聚合物 面涂层组合物 光致抗蚀剂 氟烷基 总固体 直链 光致抗蚀剂组合物 烷基 多价连接基团 半导体装置 卤代烷基 卤素原子 水性碱 溶剂 侧链 非氟 制造 | ||
【主权项】：
1.一种光致抗蚀剂面涂层组合物，其包含：第一聚合物，其是水性碱溶性的并且以所述组合物的总固体计以70到99wt％的量存在；第二聚合物，其包含具有通式(IV)的重复单元和具有通式(V)的重复单元：![]()
其中：R5独立地表示H、卤素原子、C1‑C3烷基或C1‑C3卤代烷基；R6表示直链、支链或环状C1到C20氟烷基；R7表示直链、支链或环状C1到C20氟烷基；L3表示多价连接基团；并且m是1到5的整数；其中所述第二聚合物不含非氟化侧链；并且其中所述第二聚合物的存在量以所述组合物的总固体计是1到30wt％；和溶剂。
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C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D133-00 基于有1个或多个不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物，其中每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且至少有1个是仅以1个羧基或其盐、酐、酯、酰胺、酰亚胺或腈为终端；基于此种聚合物的衍生物的涂料
C09D133-02 .酸的均聚物或共聚物；其金属盐或铵盐
C09D133-04 .酯的均聚物或共聚物
C09D133-18 .腈的均聚物或共聚物
C09D133-24 .酰胺或酰亚胺的均聚物或共聚物
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