[发明专利]一种柔性MEMS静电驱动开关力学动态模型分析方法有效
| 申请号： | 201811503255.4 | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN109472113B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 韩磊;于洋;吴虹剑;田蕾;吝晓楠 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G06F30/367 | 分类号： | G06F30/367 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本专利提出来一种柔性MEMS静电驱动开关力学动态模型分析方法，包括以下步骤：建立MEMS静电驱动开关的初始力学动态模型；建立基于MEMS静电驱动开关与柔性基板双变形的形变耦合模型；所述柔性基板屈曲变形后，获取所述MEMS静电驱动开关膜桥至所述柔性基板的间距；所述柔性基板屈曲变形后，得到所述柔性基板屈曲变形后的参数值；根据所述柔性基板屈曲变形后的参数值，重建MEMS静电驱动开关的力学动态模型；基于所述重建的模型，获取柔性基板屈曲对MEMS静电驱动开关力学动态模型的影响，填补了国内外对RF MEMS静电驱动开关弯曲特性模型的研究空白。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 mems 静电 驱动 开关 力学 动态 模型 分析 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性MEMS静电驱动开关力学动态模型分析方法，其特征在于，包括以下步骤：建立MEMS静电驱动开关的初始力学动态模型；建立基于MEMS静电驱动开关与柔性基板双变形的形变耦合模型；所述柔性基板屈曲变形后，获取所述MEMS静电驱动开关膜桥至所述柔性基板的间距；所述柔性基板屈曲变形后，得到所述柔性基板屈曲变形后的参数值；根据所述柔性基板屈曲变形后的参数值，重建MEMS静电驱动开关的力学动态模型；基于所述重建的模型，获取柔性基板屈曲对MEMS静电驱动开关力学动态模型的影响。
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