[发明专利]一种通过机械加电解抛光制备微型EBSD试样的方法在审

专利信息
申请号: 201811500814.6 申请日: 2018-12-10
公开(公告)号: CN111289317A 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 李阁平;张英东;刘承泽;袁福森;韩福洲;穆罕默德·阿里;郭文斌;顾恒飞 申请(专利权)人: 中国科学院金属研究所
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28;G01N1/32;G01N1/34;C25F3/26
代理公司: 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 代理人: 张晨
地址: 110015 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明的目的在于提供一种通过机械加电解抛光制备微型EBSD试样的方法,该方法通过将微型试样镶到镶样的中心形成较大尺寸的镶样样品,进行机械抛光后利用取样平台取出微型试样,再利用专用夹持镊子将微型试样置于酸性电解抛光液中进行特殊的电解抛光,清洗吹干后获得金属材料的微型EBSD试样。该方法主要解决了微型试样的难研磨、难抛光的问题,也解决了微型试样在电解抛光过程中试样紧固的问题,更通过特殊电解方法解决了微型试样难电解抛光的问题。该方法操作简单,制备效率高,制样效果优异,样品解析率达90%以上,且适用范围广,适合推广应用。
搜索关键词: 一种 通过 机械 电解 抛光 制备 微型 ebsd 试样 方法
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