[发明专利]一种蒸镀装置、蒸镀调整方法以及计算机可读介质在审
| 申请号： | 201811494611.0 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109594053A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 杨春梅;金政泽 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀装置、蒸镀调整方法以及计算机可读介质，以改善现有技术的蒸镀过程存在由于膜层检测器件长时间使用导致检测精度下降，进而导致蒸镀的膜厚异常的问题。所述蒸镀装置，包括：至少一个蒸镀源、第一速率检测部件、第二速率检测部件、以及控制部件，其中，所述控制部件，用于控制所述第一速率检测部件实时检测对应的所述蒸镀源的所述第一蒸镀速率，并确定对应的实际蒸镀功率，针对确定出的所述实际蒸镀功率与经验蒸镀功率不匹配的蒸镀源，控制所述第二速率检测部件检测该蒸镀源的第二蒸镀速率，在确定该蒸镀源的所述第一蒸镀速率与所述第二蒸镀速率的差值超出预设范围时，根据所述第二蒸镀速率调整该蒸镀源的蒸镀速率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 蒸镀源 速率检测 蒸镀装置 计算机可读介质 控制部件 部件检测 膜层检测 实时检测 速率调整 膜厚 预设 匹配 检测 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：至少一个蒸镀源、与每一所述蒸镀源对应的第一速率检测部件、第二速率检测部件、以及与所述第一速率检测部件和所述第二速率检测部件连接的控制部件，其中，所述第一速率检测部件设置于所述蒸镀源的同一侧，所述第二速率检测部件设置于所述蒸镀源的另一侧；所述控制部件，用于控制所述第一速率检测部件实时检测对应的所述蒸镀源的所述第一蒸镀速率，并确定对应的实际蒸镀功率，针对确定出的所述实际蒸镀功率与经验蒸镀功率不匹配的蒸镀源，控制所述第二速率检测部件检测该蒸镀源的第二蒸镀速率，在确定该蒸镀源的所述第一蒸镀速率与所述第二蒸镀速率的差值超出预设范围时，根据所述第二蒸镀速率调整该蒸镀源的蒸镀速率。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811494611.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种阀芯镀膜用专用夹具
- 下一篇：真空镀膜流片传递装置及其传递方法与应用
- 同类专利
- 专利分类
