[发明专利]一种蒸镀装置、蒸镀调整方法以及计算机可读介质

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：至少一个蒸镀源、与每一所述蒸镀源对应的第一速率检测部件、第二速率检测部件、以及与所述第一速率检测部件和所述第二速率检测部件连接的控制部件，其中，

所述第一速率检测部件设置于所述蒸镀源的同一侧，所述第二速率检测部件设置于所述蒸镀源的另一侧；

所述控制部件，用于控制所述第一速率检测部件实时检测对应的所述蒸镀源的所述第一蒸镀速率，并确定对应的实际蒸镀功率，针对确定出的所述实际蒸镀功率与经验蒸镀功率不匹配的蒸镀源，控制所述第二速率检测部件检测该蒸镀源的第二蒸镀速率，在确定该蒸镀源的所述第一蒸镀速率与所述第二蒸镀速率的差值超出预设范围时，根据所述第二蒸镀速率调整该蒸镀源的蒸镀速率。

2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述控制部件具体用于根据所述第一蒸镀速率与所述第二蒸镀速率的差值，将所述第一速率检测部件的所述第一蒸镀速率调整为所述第一蒸镀速率与所述差值之和；控制相应的所述蒸镀源以调整后的所述第一蒸镀速率进行蒸镀。

3.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括：用于为所述第二速率检测部件提供滑动轨道的第一导轨；

所述控制部件还用于控制所述第二速率检测部件在所述第一导轨移动至与相应的所述蒸镀源相正对的位置。

4.如权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括：设置于所述第二速率检测部件与所述蒸镀源之间的挡板，以及为所述挡板提供滑动轨道的第二导轨，其中，所述挡板的尺寸与所述第二速率检测部件的尺寸相等；

所述控制部件还用于控制所述挡板在所述第二导轨上移动，以遮挡或避开所述第二速率检测部件。

5.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述控制部件还用于在确定该所述第一蒸镀速率与所述第二蒸镀速率的差值未超出预设范围时，控制相应的所述蒸镀源根据所述第一蒸镀速率蒸镀。

6.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一速率检测部件、第二速率检测部件为膜厚检测器。

7.一种蒸镀调整方法，其特征在于，包括：

控制第一速率检测部件检测对应的蒸镀源的第一蒸镀速率；所述第一速率检测部件位于蒸镀源同一侧且与所述蒸镀源一一对应；

根据所述第一蒸镀速率确定对应的实际蒸镀功率，并确定所述实际蒸镀功率与经验蒸镀功率是否匹配；

针对确定出的所述实际蒸镀功率与经验蒸镀功率不匹配的蒸镀源，控制第二速率检测部件检测该蒸镀源的第二蒸镀速率；所述第二速率检测部件设置于所述蒸镀源的另一侧；

在确定该蒸镀源的所述第一蒸镀速率与所述第二蒸镀速率的差值超出预设范围时，根据所述第二蒸镀速率调整该蒸镀源的蒸镀速率。

8.如权利要求7所述的蒸镀调整方法，其特征在于，所述根据所述第二蒸镀速率调整该蒸镀源的蒸镀速率，具体包括：

根据所述第一蒸镀速率与所述第二蒸镀速率的差值，将所述第一速率检测部件的所述第一蒸镀速率调整为所述第一蒸镀速率与所述差值之和；

控制相应的所述蒸镀源以调整后的所述第一蒸镀速率进行蒸镀。

9.如权利要求7所述的蒸镀调整方法，其特征在于，还包括：在确定该所述第一蒸镀速率与所述第二蒸镀速率的差值未超出预设范围时，控制相应的所述蒸镀源根据所述第一蒸镀速率蒸镀。

10.一种计算机可读介质，其特征在于，包括程序代码，当所述程序代码在计算设备上运行时，所述程序代码用于使所述计算设备执行权利要求7-9任一项所述蒸镀调整方法的步骤。