[发明专利]一种新型氧化扩散炉系统用进气管在审
| 申请号： | 201811492772.6 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109853042A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 张忠恕 | 申请（专利权）人： | 张忠恕 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100000 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种新型氧化扩散炉系统用进气管，包括前后连接的弯折通气管和直通气管，所述弯折通气管和直通气管均由石英管制成，所述弯折通气管与进气端连接，所述直通气管与出气端连通，所述直通气管靠近弯折通气管的下方具有开口与高压进气管连通，所述高压进气管与弯折通气管外壁通过胶接固定。设置高压进气管，可以实现进气端的进气与高压进气管的进气之间的加速混合，实现扩散原子的均匀分布，同时可以实现出气端输出气体压力的微量调节，避免现有技术中对进气端整体气体压力的调节引起的出气端气体压力的过大波动，有效提高扩散加工工艺的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 通气管 弯折 高压进气管 直通气管 进气 出气端 气体压力 进气管 扩散炉 连通 输出气体压力 扩散 前后连接 微量调节 大波动 进气端 石英 胶接 外壁 开口 管制 | ||
【主权项】：
1.一种新型氧化扩散炉系统用进气管，其特征在于：包括前后连接的弯折通气管和直通气管，所述弯折通气管和直通气管均由石英管制成，所述弯折通气管与进气端连接，所述直通气管与出气端连通，所述直通气管靠近弯折通气管的下方具有开口与高压进气管连通，所述高压进气管与弯折通气管外壁通过胶接固定。
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