[发明专利]一种新型氧化扩散炉系统用进气管在审
申请号: | 201811492772.6 | 申请日: | 2018-12-07 |
公开(公告)号: | CN109853042A | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 张忠恕 | 申请(专利权)人: | 张忠恕 |
主分类号: | C30B31/16 | 分类号: | C30B31/16 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100000 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 通气管 弯折 高压进气管 直通气管 进气 出气端 气体压力 进气管 扩散炉 连通 输出气体压力 扩散 前后连接 微量调节 大波动 进气端 石英 胶接 外壁 开口 管制 | ||
【权利要求书】:
1.一种新型氧化扩散炉系统用进气管,其特征在于:包括前后连接的弯折通气管和直通气管,所述弯折通气管和直通气管均由石英管制成,所述弯折通气管与进气端连接,所述直通气管与出气端连通,所述直通气管靠近弯折通气管的下方具有开口与高压进气管连通,所述高压进气管与弯折通气管外壁通过胶接固定。
2.根据权利要求1所述的一种新型氧化扩散炉系统用进气管,其特征在于:所述弯折通气管上设置有固定用的乳白法兰二,所述直通气管的末端设置有固定用乳白法兰一。
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