[发明专利]一种新型氧化扩散炉系统用进气管在审

专利信息
申请号: 201811492772.6 申请日: 2018-12-07
公开(公告)号: CN109853042A 公开(公告)日: 2019-06-07
发明(设计)人: 张忠恕 申请(专利权)人: 张忠恕
主分类号: C30B31/16 分类号: C30B31/16
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100000 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 通气管 弯折 高压进气管 直通气管 进气 出气端 气体压力 进气管 扩散炉 连通 输出气体压力 扩散 前后连接 微量调节 大波动 进气端 石英 胶接 外壁 开口 管制
【权利要求书】:

1.一种新型氧化扩散炉系统用进气管,其特征在于:包括前后连接的弯折通气管和直通气管,所述弯折通气管和直通气管均由石英管制成,所述弯折通气管与进气端连接,所述直通气管与出气端连通,所述直通气管靠近弯折通气管的下方具有开口与高压进气管连通,所述高压进气管与弯折通气管外壁通过胶接固定。

2.根据权利要求1所述的一种新型氧化扩散炉系统用进气管,其特征在于:所述弯折通气管上设置有固定用的乳白法兰二,所述直通气管的末端设置有固定用乳白法兰一。

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