[发明专利]具有改进EELS/EFTEM模块的透射带电粒子显微镜

摘要

涉及具有改进EELS/EFTEM模块的透射带电粒子显微镜。使用透射带电粒子显微镜的方法包括：试样固定器；源；照明器；成像系统；控制器，在方法中传感装置被选为EELS/EFTEM模块，其包括：入口平面；图像平面；狭缝平面；分散装置；分散装置与狭缝平面间的第一四极系列；狭缝平面与图像平面间的第二四极系列，分散装置和四极沿光轴设置，由此在光轴沿Z布置的笛卡尔坐标系中分散方向被定义成与X平行，其包括以下步骤：在第一四极系列中激发一个或多个四极，以将离开分散装置的离轴非分散YZ射线偏转到从狭缝平面到图像平面的光轴的旁轴路径上；在第二四极系列中激发单个四极或者一对相邻四极，以将能量分散束聚焦到图像平面上。

主权项

1.一种使用透射带电粒子显微镜的方法，其包括：试样固定器，其用于固定试样；源，其用于产生带电粒子束；照明器，其用于导向所述束以照射所述试样；成像系统，其用于接收透射穿过所述试样的带电粒子通量并将其导向到传感装置上；控制器，其用于控制所述显微镜的至少一些操作方面，在所述方法中，所述传感装置被选定为EELS/EFTEM模块，其包括：入口平面；图像平面，其中在EELS模式下形成EELS光谱并且在EFTEM模式下形成EFTEM图像；所述入口平面与图像平面之间的狭缝平面，其中在EFTEM模式下形成能量分散的焦点；分散装置，在所述入口平面与狭缝平面之间，其用于将入射束分散到具有相关联分散方向的能量分散束中；所述分散装置与狭缝平面之间的第一四极系列；所述狭缝平面与图像平面之间的第二四极系列，所述分散装置和四极沿光轴设置，由此，在所述光轴沿Z布置的笛卡尔坐标系（X,Y,Z）中，所述分散方向被定义成与X平行，其特征在于以下步骤：在所述第一四极系列中，激发一个或多个四极，以将离开所述分散装置的离轴非分散YZ射线偏转到从所述狭缝平面到所述图像平面的所述光轴的旁轴路径上；在所述第二四极系列中，激发：（a）单个四极；或者（b）一对相邻四极，以便将所述能量分散束聚焦到所述图像平面上。