[发明专利]一种降低掺镁氧化锌薄膜电阻率的方法有效
| 申请号： | 201811487573.6 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109599470B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 王德亮;王东明;王光伟;蔡彦博 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H01L33/28 | 分类号： | H01L33/28;H01L33/00;H01L31/18;H01L31/0296 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种降低掺镁氧化锌薄膜电阻率的处理方法，包括以下步骤：将掺镁氧化锌薄膜进行真空热处理；所述真空热处理在保护气体气氛下进行；所述真空热处理的气压为0.1～100Pa，温度为400～1000℃，时间为5～120min。本发明将掺镁氧化锌薄膜在低真空保护气氛下进行真空热处理，可以大幅度提高薄膜内的载流子浓度，使得薄膜的电阻率显著降低。同时具有较高的透光率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降低 氧化锌 薄膜 电阻率 方法 | ||
【主权项】：
1.一种降低掺镁氧化锌薄膜电阻率的处理方法，包括以下步骤：将掺镁氧化锌薄膜进行真空热处理；所述真空热处理在保护气体气氛下进行；所述真空热处理的气压为0.1～100Pa，温度为400～1000℃，时间为5～120min。
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