[发明专利]用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构有效
| 申请号： | 201811486422.9 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109581191B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 谭骁洪;李晓红;罗俊;邢宗锋;张锋;邓永芳;邱忠文;吴兆希;林震;朱朝轩;杨迁 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十四研究所 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 重庆辉腾律师事务所 50215 | 代理人： | 王海军 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及质量与可靠性领域、检测技术研究领域，特别涉及一种用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构，包括管壳和盖板，管壳使用间隔板隔断分离形成第一腔体和第二腔体，间隔板与外壁等高，且第一腔体与第二腔体共用一块盖板，所述管壳采用平行缝焊管壳，其形状为长方体，所述第一腔体的体积为0.001立方厘米～0.01立方厘米，第二腔体的体积为0.1立方厘米～4.0立方厘米；本发明方法的双腔结构可以对小于0.01立方厘米的微小腔体内部气氛检测结果进行准确比对，可以极大地提高微小腔体电路内部气氛检测结果的准确性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微小 电路 内部 气氛 检测 结果 结构 | ||
【主权项】：
1.用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构，其特征在于，包括管壳和盖板，管壳使用间隔板隔断分离形成第一腔体和第二腔体，间隔板与外壁等高，且第一腔体与第二腔体共用一块盖板。
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