[发明专利]石英舟表面处理方法、石英舟及应用在审
| 申请号： | 201811470987.8 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN109650749A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 赵静敏;林泉;许兴;周晓霞;于洪国;易见伟;刘宁 | 申请（专利权）人： | 有研光电新材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C03C23/00 | 分类号： | C03C23/00;C30B15/10;C30B29/42 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 佟林松 |
| 地址： | 065001 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种石英舟表面处理的方法，包括以下步骤：将镓液体倒入石英管内，加热到35℃‑40℃，去除镓液体表面上的氧化膜；将若干个喷砂打毛处理后的石英舟浸没于镓液内；抽真空2‑5分钟；将保护气体充入所述石英管内，将镓液升温至1230℃‑1260℃，恒温保持2‑3小时，即得内壁形成α‑方石英球晶体的石英舟。经过表面处理后的石英舟在拉制砷化镓单晶的过程中，能有效避免砷化镓与石英舟内表面、上表面生长过程中浸润的问题，使得砷化镓单晶背面具有与正面相同的镜面光泽，有效避免石英舟与砷化镓单晶的粘结现象，避免了粘结对砷化镓单晶生长的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 石英舟 砷化镓单晶 石英管 镓液 保护气体 恒温保持 镜面光泽 生长过程 液体表面 粘结现象 拉制 抽真空 方石英 晶体的 内表面 上表面 砷化镓 氧化膜 浸没 打毛 内壁 喷砂 粘结 加热 去除 背面 浸润 生长 应用 | ||
【主权项】：
1.一种石英舟表面处理的方法，其特征在于，包括以下步骤：将镓液体倒入石英管内，加热到35℃‑40℃，去除所述镓液体表面上的氧化膜；将若干个喷砂打毛处理后的石英舟浸没于所述镓液内；抽真空2‑5分钟；将保护气体充入所述石英管内，将所述镓液升温至1230℃‑1260℃，恒温保持2‑3小时，即得内壁形成α‑方石英球晶体的石英舟。
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