[发明专利]用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置

摘要

本发明公开了一种能够使得混合气体均匀分布在硅片周围的用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置。该用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置，包括均化主壳体、均化区域调节体以及分流装置；所述均化主壳体的内腔上部为倒锥形腔体，下部为矩形腔体；所述倒锥形腔体内设置有至少两层第一均流板；所述矩形腔体内具有至少两层第二均流板；所述均化区域调节体中心位置设置有安装通腔；所述均化区域调节体的两端均设置有调节腔；所述调节腔上方设置有通气管。采用该用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置，能够保证混合气体均匀覆盖在硅片表面的周围，同时能够适用于不同长度的硅片；能够有效的降低生产成本。

主权项

1.用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置，其特征在于：包括均化主壳体(1)、均化区域调节体(6)以及分流装置(13)；所述均化主壳体(1)具有下部开口的内腔，所述均化主壳体(1)顶部设置有进气管(2)；所述均化主壳体(1)的下部边缘设置有凸缘(3)；所述均化主壳体(1)的内腔上部为倒锥形腔体(16)，下部为矩形腔体；所述倒锥形腔体(16)内设置有至少两层第一均流板(4)；每层第一均流板(4)包括至少两块第一均流板(4)，且沿横向均匀分布；相邻两层第一均流板(4)交替分布，即上层相邻两块第一均流板(4)之间的间隙位于下层第一均流板(4)的正上方；所述矩形腔体内具有至少两层第二均流板(5)；每层第二均流板(5)包括至少两块第二均流板(5)，且沿横向均匀分布；相邻两层第二均流板(5)交替分布，即上层相邻两块第二均流板(5)之间的间隙位于下层第二均流板(5)的正上方；所述均化区域调节体(6)中心位置设置有安装通腔(61)；所述均化区域调节体(6)的两端均设置有调节腔(62)；所述调节腔(62)上方设置有通气管(12)；所述均化区域调节体(6)套装在均化主壳体(1)上，所述均化主壳体(1)穿过安装通腔(61)；所述安装通腔(61)与均化主壳体(1)的下端匹配；所述调节腔(62)的端面和下表面具有开口，所述调节腔(62)的一端设置有侧面密封板(8)；所述调节腔(62)内设置有至少两层横向的均流板(7)；所述调节腔(62)的中心位置设置有横向的丝杆(10)；所述侧面密封板(8)上设置有驱动丝杆(10)转动的驱动电机(9)；所述调节腔(62)内滑动安装有均化调节板(11)；所述均化调节板(11)上设置有与均流板(7)匹配的穿孔(18)；所述均流板(7)穿过均化调节板(11)，所述丝杆(10)穿过均化调节板(11)，且与均化调节板(11)螺纹配合；所述通气管(12)通过导气管(14)与分流装置(13)连通，所述进气管(2)与流装置(13)连通；所述通气管(12)与分流装置(13)之间的导气管(14)上设置有电磁阀(15)。