[发明专利]用于形成金属光栅的复合金属层及相关器件在审

专利信息
申请号: 201811462765.1 申请日: 2018-12-03
公开(公告)号: CN109655952A 公开(公告)日: 2019-04-19
发明(设计)人: 林国画;刘明;张敏;宁提;梁宗久 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十一研究所
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18;G02B27/28;G02B5/30
代理公司: 工业和信息化部电子专利中心 11010 代理人: 齐洁茹
地址: 100015*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种用于形成金属光栅的复合金属层包括第一金属层和第二金属层,所述第一金属层为铬层或铝层;所述第二金属层为铬层或金层;所述第一金属层和所述第二金属层的材质不同。利用本发明中的金属复合层形成的金属光栅,能够抗氧化,并且能提高金属光栅的偏振对比度。
搜索关键词: 金属光栅 第二金属层 第一金属层 复合金属层 铬层 金属复合层 抗氧化 金层 铝层 偏振
【主权项】:
1.一种用于形成金属光栅的复合金属层,其特征在于,包括第一金属层和第二金属层,所述第一金属层为铬层或铝层;所述第二金属层为铬层或金层;所述第一金属层和所述第二金属层的材质不同。
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