[发明专利]一种非接触式曝光的方法在审
| 申请号： | 201811458666.6 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109298604A | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 吴德生;李志成 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 王仲凯 |
| 地址： | 516600 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种非接触式曝光的方法，包括：提供一玻璃承载部件，对所述玻璃承载部件进行物理钢化；在所述玻璃承载部件表面设置图案层，形成曝光模具；将所述曝光模具置于表面具有光刻胶的基材上部空间，所述图案层面向所述光刻胶，并在所述曝光模具的上部照射，光线透过所述图案层之后在所述基材的表面曝光形成目标图案。上述非接触式曝光的方法，能够避免曝光模具在重力作用下发生下垂的问题，提升曝光图案在基材各个位置的线宽精度均匀性，适合制作线宽更加精细的图案，提升生产良率。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 模具 承载部件 非接触式 图案层 基材 光刻胶 玻璃 线宽 表面设置 光线透过 目标图案 曝光图案 上部空间 物理钢化 重力作用 均匀性 下垂 良率 照射 精细 图案 申请 制作 生产 | ||
【主权项】：
1.一种非接触式曝光的方法，其特征在于，包括：提供一玻璃承载部件，对所述玻璃承载部件进行物理钢化；在所述玻璃承载部件表面设置图案层，形成曝光模具；将所述曝光模具置于表面具有光刻胶的基材上部空间，所述图案层面向所述光刻胶，并在所述曝光模具的上部照射，光线透过所述图案层之后在所述基材的表面曝光形成目标图案。
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