[发明专利]一种非接触式曝光的方法在审
| 申请号： | 201811458666.6 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109298604A | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 吴德生;李志成 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 王仲凯 |
| 地址： | 516600 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 曝光 模具 承载部件 非接触式 图案层 基材 光刻胶 玻璃 线宽 表面设置 光线透过 目标图案 曝光图案 上部空间 物理钢化 重力作用 均匀性 下垂 良率 照射 精细 图案 申请 制作 生产 | ||
1.一种非接触式曝光的方法，其特征在于，包括：
提供一玻璃承载部件，对所述玻璃承载部件进行物理钢化；
在所述玻璃承载部件表面设置图案层，形成曝光模具；
将所述曝光模具置于表面具有光刻胶的基材上部空间，所述图案层面向所述光刻胶，并在所述曝光模具的上部照射，光线透过所述图案层之后在所述基材的表面曝光形成目标图案。
2.根据权利要求1所述的非接触式曝光的方法，其特征在于，在对所述玻璃承载部件进行物理钢化之后，还包括：
对所述玻璃承载部件的表面进行抛光。
3.根据权利要求1所述的非接触式曝光的方法，其特征在于，所述对所述玻璃承载进行物理钢化包括：
将所述玻璃承载部件置于钢化炉中加热至600℃至700℃，持续第一预设时间；
将所述玻璃承载部件均匀快速冷却，持续第二预设时间。
4.根据权利要求1所述的非接触式曝光的方法，其特征在于，所述对所述玻璃承载部件的表面进行抛光包括：
对所述玻璃承载部件的表面进行深度为5微米至20微米的抛光。
5.根据权利要求2或4所述的非接触式曝光的方法，其特征在于，对所述玻璃承载部件的表面进行抛光之后，还包括：
将所述玻璃承载部件加热到250℃至300℃，并持续第三预设时间，检验所述玻璃承载部件是否合格。
6.根据权利要求3所述的非接触式曝光的方法，其特征在于，所述第一预设时间为240秒至360秒。
7.根据权利要求3所述的非接触式曝光的方法，其特征在于，所述第二预设时间为150秒至200秒。
8.根据权利要求5所述的非接触式曝光的方法，其特征在于，所述第三预设时间为3小时至4小时。
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