[发明专利]一种In与Zn共掺杂的二氧化钒薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201811434671.3 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN109594065A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 王曼;张绍辉 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种In与Zn共掺杂的二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1:将三氯化铟超声溶解于过氧化氢溶液形成澄清透明的溶液，并将所得溶液与五氧化二钒分散溶解于异丁醇，最终得到悬浊液A；在一定的温度下加热搅拌，同时向悬浊液A中加入盐酸、氧化锌和草酸，通入氮气，在氮气的氛围中搅拌反应10h以上，得到溶胶B；经室温密封陈化1天以上，得到溶胶‑凝胶前驱液；S2:将溶胶‑凝胶前驱液旋涂于清洁干燥的基底表面，烘干去除多余的异丁醇溶剂；S3:重复步骤S2五次以上，得到预沉积前驱体薄膜；然后通过真空退火处理，得到所述In与Zn共掺杂的二氧化钒薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 二氧化钒薄膜 共掺杂 氮气 前驱液 悬浊液 凝胶 制备 草酸 过氧化氢溶液 前驱体薄膜 五氧化二钒 异丁醇溶剂 超声溶解 澄清透明 基底表面 加热搅拌 搅拌反应 密封陈化 三氯化铟 真空退火 氧化锌 异丁醇 预沉积 烘干 去除 旋涂 盐酸 溶解 清洁 重复 | ||
【主权项】：
1.一种In与Zn共掺杂的二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1:将三氯化铟超声溶解于过氧化氢溶液形成澄清透明的溶液，并将所得溶液与五氧化二钒分散溶解于异丁醇，最终得到悬浊液A；在一定的温度下加热搅拌，同时向悬浊液A中加入盐酸、氧化锌和草酸，通入氮气，在氮气的氛围中搅拌反应10h以上，得到溶胶B；经室温密封陈化1天以上，得到溶胶‑凝胶前驱液；S2:将溶胶‑凝胶前驱液旋涂于清洁干燥的基底表面，烘干去除多余的异丁醇溶剂；S3:重复步骤S2五次以上，得到预沉积前驱体薄膜；然后通过真空退火处理，得到所述In与Zn共掺杂的二氧化钒薄膜。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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