[发明专利]一种轴向变化的隧道磁阻加速度测量系统及其测量方法有效
申请号: | 201811434296.2 | 申请日: | 2018-11-28 |
公开(公告)号: | CN109557337B | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 徐大诚;高路;姚莹飞 | 申请(专利权)人: | 苏州大学 |
主分类号: | G01P15/105 | 分类号: | G01P15/105 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 曹成俊 |
地址: | 215000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种轴向变化的隧道磁阻加速度测量系统,包括:外框、悬臂梁、磁场源和隧道磁电阻桥;悬臂梁位于外框内部,且其一端与外框固定连接,另一端为自由端,其自由端的运动方向与加速度的输入方向相同;磁场源固定于悬臂梁的自由端,其用于产生均匀的梯度磁场;隧道磁电阻桥为由多个隧道磁电阻连接成的惠斯通电桥结构;隧道磁电阻桥固定于外框表面,并与磁场源位置对应,且其磁敏感方向与加速度的输入方向垂直。本发明能够实现加速度到位移量、位移量到磁场变化、磁场变化到电场的高精度转换,具有易实现、高精度和低噪声的特性。 | ||
搜索关键词: | 一种 轴向 变化 隧道 磁阻 加速度 测量 系统 及其 测量方法 | ||
【主权项】:
1.一种轴向变化的隧道磁阻加速度测量系统,其特征在于,包括:外框(2);悬臂梁(1),所述悬臂梁(1)位于所述外框(2)内部,且所述悬臂梁(21)的一端与外框(2)固定连接,另一端为自由端,所述自由端的运动方向与加速度的输入方向相同;磁场源(3),所述磁场源(3)固定于所述悬臂梁(1)的自由端,其用于产生均匀的梯度磁场;以及隧道磁电阻桥(6),所述隧道磁电阻桥(6)为由多个隧道磁电阻连接成的惠斯通电桥结构;所述隧道磁电阻桥(6)固定于所述外框(2)表面,并与所述磁场源(3)位置对应,且所述隧道磁电阻桥(6)的磁敏感方向与加速度的输入方向垂直。
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