[发明专利]一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法有效
| 申请号： | 201811389896.1 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN109541426B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 刘芹篁;范亚明;朱璞成;刘斌;陈诗伟;黄蓉;宋振磊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所南昌研究院 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王茹;王锋 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法，包括：探针台将探针卡识别号传输至伺服器，由伺服器传输给测试仪；测试仪识别探针卡识别号，并根据探针卡识别号在伺服器内选取对应的测试程序；测试仪读取并下载测试程序，将其载入测试软件，载入完成后发送完成信号给探针台；探针台接收到完成信号，发出警报告知测试操作人员。本发明既保证了晶圆测试程序的有效性，又减少过多返工对晶圆的损耗，增加良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 测试仪 自动 读取 参数 方法 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法，其特征在于，包括：S1，探针台将探针卡识别号传输至伺服器，由伺服器传输给测试仪；S2，所述测试仪识别所述探针卡识别号，并根据所述探针卡识别号在伺服器内选取对应的测试程序；S3，所述测试仪读取并下载所述测试程序，将其载入测试软件，载入完成后发送完成信号给探针台；S4，所述探针台接收到所述完成信号，发出警报告知测试操作人员。
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