[发明专利]一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法

说明书

本发明揭示了一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法，包括：探针台将探针卡识别号传输至伺服器，由伺服器传输给测试仪；测试仪识别探针卡识别号，并根据探针卡识别号在伺服器内选取对应的测试程序；测试仪读取并下载测试程序，将其载入测试软件，载入完成后发送完成信号给探针台；探针台接收到完成信号，发出警报告知测试操作人员。本发明既保证了晶圆测试程序的有效性，又减少过多返工对晶圆的损耗，增加良率。

技术领域

本发明涉及一种晶圆测试，尤其是涉及一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法。

背景技术

在晶圆量产的测试过程中，测试开始前都会根据晶圆的参数指标，测试仪器选取相对应的测试程序，对应探针台会选取相对应的产品测试所需参数(recipe)来针对不同种的晶圆选取相对应的测试目录。

在操作测试仪时，通常由于测试工位人员对于正确测试程序的选择不熟知或不认识，选取测试程序时常会因为疏忽而造成测试程序错误选择目录。另外，测试程序通常都是由测试工程师单独管理，且其是根据晶圆测试时所需的特定程序，使用特殊的名称对其命名。

在量产测试时，由于晶圆型号过多，与每步测试的程序不同。继而造成相对应的测试程序在不同的时候需要更换。CP(晶圆测试)测试中大量的不同种的测试程序将影响待测晶圆的良率或造成返工测试的原因，一个错误的程序调入将会造成整片晶圆测试时，因为各种测试参数的输入错误整片晶圆都会产生丢失晶粒的情况出现，解决错误的程序调入影响，可避免因为程序错误进行测试时晶圆的良率提高。

结合图1所示，目前测试工厂的通用做法是在测试仪器端利用产品型号在伺服器中按照晶圆产品的命名对测试程序进行选择。首先，不同的晶圆和不同的recipe对测试的要求不一，往往要通过反复的选择，不断的核对才能十分正确的找到所需的测试程序；同样的晶圆产品不同的测试温度条件，这个程序也需要更改。其次，随着测试程序增多，测试步骤的增加，样测的程序与正测的程序的不同，手动选取测试程序的方法已不满足要求，又需要根据人为操作的情况来选取。但是往往测试单位不会针对每次误测详细的分析，为保证测试良率的情况下，通常会使用返工的工艺来覆盖误测带来的损失，如此大大浪费了测试时间。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法。

为实现上述目的，本发明提出如下技术方案：一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法，包括：

S1，探针台将探针卡识别号传输至伺服器，由伺服器传输给测试仪；

S2，所述测试仪识别所述探针卡识别号，并根据所述探针卡识别号在伺服器内选取对应的测试程序；

S3，所述测试仪读取并下载所述测试程序，将其载入测试软件，载入完成后发送完成信号给探针台；

S4，所述探针台接收到所述完成信号，发出警报告知测试操作人员。

优选地，所述探针台与测试仪之间建立GPIB数据连接接口。

优选地，在伺服器中设置每台测试仪和探针台之间的一一对应关系。

优选地，S1中，探针台在每次更换产品所需探针卡时将所输入的探针卡识别号传输到伺服器。

优选地，S4中，所述测试操作人员先进行探针台探针接触，检查针接触点，在勘察所述针接触点完整接触到晶圆上无异样时，由测试操作人员在探针台控制面板上选择开始测试，并发送开始测试信号给测试仪。

优选地，所述方法还包括：所述测试仪接收到探针台发出的所述开始测试信号，且探针接触在晶圆接触点上时，所述测试仪开始自动运行测试程序，测试结束后，测试仪输入第一矩阵测试已经结束的信号至探针台，移至第二矩阵继续测试。

优选地，S2中，所述测试仪识别所述探针卡识别号后，由GPIB数据连接接口发送已识别信号告知探针台。