[发明专利]一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法

权利要求书

1.一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法，其特征在于，包括：

S1，探针台将探针卡识别号传输至伺服器，由所述伺服器传输给测试仪，其中，在所述探针台与测试仪之间建立GPIB数据连接接口，在所述伺服器中设置每台测试仪和探针台之间的一一对应关系，并且，所述探针台在每次更换产品所需探针卡时将所输入的探针卡识别号传输到伺服器；

S2，所述测试仪识别所述探针卡识别号后，由GPIB数据连接接口发送已识别信号告知探 针台， 所述探针台接收到所述已识别信号后，识别晶圆管理系统发送的晶圆数量是否匹配，并输送匹配信号给测试仪，所述测试仪收到所述匹配信号后根据所述探针卡识别号在伺服器内选取对应的测试程序，其中，若所述测试仪识别所述探针卡识别号错误，则测试程序读取失败，测试仪报错；

S3，所述测试仪读取并下载所述测试程序，将其载入测试软件，载入完成后发送完成信号给探针台；

S4，所述探针台接收到所述完成信号，发出警报告知测试操作人员，以及，测试操作人员先进行探针台探针接触，检查针接触点，在勘察所述针接触点完整 接触到晶圆上无异样时，由测试操作人员在探针台控制面板上选择开始测试，并发送开始测试信号给测试仪，测试仪接收到探针台发出的所述开始测试信号，且探针接触在晶圆接触点上时，所述测试仪开始自动运行测试程序，测试结束后，测试仪输入第一矩阵测试已经结束的信号至探针台，移至第二矩阵继续测试。