[发明专利]一种硅料烘干装置在审

专利信息
申请号: 201811382512.3 申请日: 2018-11-20
公开(公告)号: CN111197917A 公开(公告)日: 2020-05-26
发明(设计)人: 高向阳;黄欢;张世坤;占程;万梦雅 申请(专利权)人: 新特能源股份有限公司
主分类号: F26B9/06 分类号: F26B9/06;F26B21/00;F26B21/04;F26B25/00
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 罗建民;杜丹丹
地址: 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** 国省代码: 新疆;65
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摘要: 发明提供一种硅料烘干装置,其包括:壳体、设置于壳体内部的多个热风循环烘干工位和多个冷风循环冷却工位、转运系统,以及控制系统;控制系统内预设有控制指令;转运系统与控制系统电连接,用于接收控制系统发出的控制指令,并按照控制指令将装有硅料的料篮放入热风循环烘干工位或冷风循环冷却工位,或者从中取出;热风循环烘干工位用于采用热风循环吹扫的方式对放入其内的料篮中的硅料进行烘干处理;冷风循环冷却工位用于采用冷风循环吹扫的方式对放入其内的料篮中的硅料进行冷却处理。本发明利用热风循环烘干的方法,克服了目前多晶硅产品在烘干过程中使用微波烘干导致的烘干温度控制不均匀、烘干效果差、烘干产品生产效率低下等问题。
搜索关键词: 一种 烘干 装置
【主权项】:
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