[发明专利]一种电子束整形器在审

专利信息
申请号: 201811375963.4 申请日: 2018-11-19
公开(公告)号: CN109378103A 公开(公告)日: 2019-02-22
发明(设计)人: 蔡承;张志军;王超 申请(专利权)人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
主分类号: G21K1/087 分类号: G21K1/087
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 胡乐
地址: 710119 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提出一种电子束整形器。该电子束整形器包括一圆柱型空腔;所述圆柱型空腔的侧面为导电材料;所述圆柱型空腔的一个端面为电介质,并在圆柱型空腔轴心位置留一小孔,供电子脉冲进入;基于电介质在所述小孔的内壁涂有导电膜作为电极施以正电位U0;所述电介质的绝对介电常数沿径向变化;圆柱型空腔的另一端面由导电材料的栅网组成,供电子脉冲输出;所述栅网和圆柱型空腔的侧面均接地以保持0电位。本发明可同时实现电子束波前和径向的整形,因而其调制整形效率较高;功能场为静电场,结构操作简单,更具工程实用性和可操作性;可实现较高的加工精度和组装精度,可与其他相关电子束产生系统进行无缝对接。
搜索关键词: 圆柱型空腔 电子束 电介质 整形器 导电材料 子脉冲 栅网 电子束产生系统 电位 工程实用性 供电 结构操作 介电常数 径向变化 无缝对接 整形效率 轴心位置 侧面 电极 接地 导电膜 功能场 静电场 正电位 整形 内壁 小孔 调制 组装 输出 加工
【主权项】:
1.一种电子束整形器,其特征在于:包括一圆柱型空腔;所述圆柱型空腔的侧面为导电材料;所述圆柱型空腔的一个端面为电介质,并在圆柱型空腔轴心位置留一小孔,供电子脉冲进入;基于电介质在所述小孔的内壁涂有导电膜作为电极施以正电位U0;所述电介质的绝对介电常数沿径向的变化规律为ε=k/r2,k为常数,r为径向距离;小孔直径与圆柱型空腔的径向尺寸a的比例不超过0.05;所述圆柱型空腔的另一端面由导电材料的栅网组成,供电子脉冲输出;所述栅网和圆柱型空腔的侧面均接地以保持0电位。
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