[发明专利]一种检测机台的派工方法

摘要

本发明提供一种检测机台派工方法，涉及集成电路制造工艺中的缺陷检测方法技术领域，按照派送的先后顺序将等待检测的晶圆分批次送入检测站点的等待队列中，并实时统计所述检测站点中累积的批次的数量；若批次的数量超过一预先设定的上限值时，按照一预设规则设置一优先级队列，并按照所述优先级队列依次将所述晶圆分批次送入所述检测机台中进行缺陷检测；若批次的数量低于所述上限值，则仍按照上述等待队列依次将所述晶圆分批次送入所述检测机台中进行缺陷检测。本发明的有益效果是：通过本发明所述方法可以对机台进行实时监控和智能调节，从而合理分配产能，有效降低监控风险。

主权项

1.一种检测机台的派工方法，按照派送的先后顺序将等待检测的晶圆分批次送入检测站点的等待队列中，并按照所述等待队列依次将所述晶圆分批次送入所述检测机台中进行缺陷检测；其特征在于，还包括：步骤S1，实时统计所述检测站点中累积的批次的数量，并在批次的数量超过一预先设定的上限值时转向步骤S2；步骤S2，按照一预设规则，对所述检测站点中的每个批次分别进行分数评定以得到对应的分值；步骤S3，根据所述分值由高至低将所述检测站点中的所有批次放至一优先级队列中进行排列；步骤S4，根据所述优先级队列，依次将所述晶圆分批次送入所述检测机台中进行缺陷检测。