[发明专利]倍缩掩模固持工具在审
| 申请号： | 201811365850.6 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN109799684A | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 郭爵旗;李宗彦;周佳信;傅中其;陈立锐;郑博中;许哲彰 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 提供一种倍缩掩模固持工具，包括外壳，外壳包括上外壳构件以及侧向外壳构件。侧向外壳构件从上外壳构件延伸，且在一下边缘终止。倍缩掩模固持工具还包括定位于外壳中的倍缩掩模吸座，且倍缩掩模吸座配置以固定倍缩掩模。倍缩掩模固持工具亦包括气体输送总成。气体输送总成是定位于外壳内，且配置以供应气体至外壳内。 | ||
| 搜索关键词： | 倍缩掩模 固持 侧向 上外壳构件 气体输送 外壳构件 吸座 边缘终止 供应气体 配置 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种倍缩掩模固持工具，包括：一外壳，包括一上外壳构件以及一侧向外壳构件，该侧向外壳构件从该上外壳构件延伸，且在位于一预定平面上的一下边缘终止；一倍缩掩模吸座，定位于该外壳中，且具有配置以固定一倍缩掩模的一有效表面，其中，该有效表面位于该预定平面以及该上外壳构件之间；以及一气体输送总成，定位于该外壳内，且配置以供应气体至该外壳内。
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