[发明专利]一种蓝宝石衬底片抛光加工废液之回收方法在审
| 申请号： | 201811365658.7 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN109318129A | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 徐良;阳明益;占俊杰;蓝文安;刘建哲;余雅俊 | 申请（专利权）人： | 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/12 | 分类号： | B24B55/12 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 胡杰平 |
| 地址： | 321016 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种用于蓝宝石衬底片抛光加工废液之回收方法，其抛光加工系指在蓝宝石衬底片的铜抛制程。在本实施方案中，提供了一种蓝宝石衬底片抛光加工废液之回收方法，包括一第一级自然沉淀部,用来初步沉淀加工废液中的大颗粒钻石,铜盘金属屑与蓝宝石加工屑；一第二级过滤部,以过滤方式滤除残余的加工废液微粒；一第三级金属离子吸附部,用来吸收最后溶于或悬浮于废液中的铜金属原子与离子；一最终排放部,最后确保了废液铜金属排放合乎环保法规标准的回收方法，这种抛光加工废液的回收方法以最低的成本与极高的效率合乎环保法规排放标准,同时也降低加工废液的处理成本,大大的节省蓝宝石衬底片制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 废液 蓝宝石 抛光加工 衬底片 回收 环保法规 铜金属 过滤 加工 金属离子吸附 大颗粒钻石 初步沉淀 排放标准 制造成本 自然沉淀 残余的 第三级 第一级 加工屑 金属屑 排放部 滤除 铜盘 制程 离子 悬浮 排放 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种蓝宝石衬底片抛光加工废液之回收方法：包括一第一级自然沉淀部,用来初步沉淀加工废液中的大颗粒钻石,铜盘金属屑与蓝宝石加工屑；一第二级过滤部,以过滤方式滤除残余的加工废液微粒；一第三级金属离子吸附部,用来吸收最后溶于或悬浮于废液中之铜金属原子与离子；一最终排放部。
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