[发明专利]反应腔室的压力控制系统及压力控制方法有效
| 申请号： | 201811354718.5 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN110538620B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 孙朋涛;耿丹;桂晓波;郑建宇;李补忠 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00;G05D16/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种反应腔室的压力控制系统及压力控制方法。该装置包括尾气管、缓冲冷凝容器、进气管、排气管和控制器，并且在所述进气管上设置有气体质量流量控制器，所述排气管与真空泵连接，并且在其中设置有压力传感器。控制器与所述气体质量流量控制器、真空泵、压力传感器连接，通过将所述气体质量流量控制器的控制量设置为常量或零，以使所述压力传感器采集的压力值在设定压力范围内。本发明避免了使用变频控制方法及其昂贵复杂的耐腐蚀变频隔膜泵，同时气体质量流量控制器反应快速、控制简单，因此提高了控制效率。本发明通过简单、可靠且低成本的设计大幅延长了压力控制系统的使用寿命和安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 压力 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种反应腔室的压力控制系统，其特征在于，包括：/n尾气管，其与所述反应腔室相连通，用于接收所述反应腔室输出的尾气；/n缓冲冷凝容器，其与所述尾气管的末端连接，用于缓冲以及冷凝从所述尾气管输出的尾气；/n进气管，其一端与所述缓冲冷凝容器相连通，另一端为进气口，并且在所述进气管上设置有气体质量流量控制器；/n排气管，其一端与所述缓冲冷凝容器相连通，另一端与真空泵连接，并且在所述排气管上设置有压力传感器；/n控制器，其与所述气体质量流量控制器、真空泵、压力传感器分别连接，所述控制器用于通过调节所述气体质量流量控制器的控制量，以使所述压力传感器采集的反应腔室的压力值在设定压力范围内。/n
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