[发明专利]反应腔室的压力控制系统及压力控制方法

权利要求书

1.一种反应腔室的压力控制系统，其特征在于，包括：

尾气管，其与所述反应腔室相连通，用于接收所述反应腔室输出的尾气；

缓冲冷凝容器，其与所述尾气管的末端连接，用于缓冲以及冷凝从所述尾气管输出的尾气；

进气管，其一端与所述缓冲冷凝容器相连通，另一端为进气口，并且在所述进气管上设置有气体质量流量控制器；

排气管，其一端与所述缓冲冷凝容器相连通，另一端与真空泵连接，并且在所述排气管上设置有压力传感器；

控制器，其与所述气体质量流量控制器、真空泵、压力传感器分别连接，所述控制器用于通过调节所述气体质量流量控制器的控制量，以使所述压力传感器采集的反应腔室的压力值在设定压力范围内；

所述控制器具体用于：

当所述压力传感器采集的压力值低于所述设定压力范围的下限时，将所述气体质量流量控制器的控制量设置为预设常量，控制所述进气管补充进气量；

当所述压力传感器采集的压力值高于所述设定压力范围的上限时，将所述气体质量流量控制器的控制量设置为零，控制所述进气管停止进气。

2.根据权利要求1所述的反应腔室的压力控制系统，其特征在于，所述压力传感器与所述真空泵之间的出气管上设置有缓冲过滤容器，用于缓冲及过滤所述排气管中的气体。

3.根据权利要求1所述的反应腔室的压力控制系统，其特征在于，在所述气体质量流量控制器与所述缓冲冷凝容器之间的进气管上设置有气动阀，并且所述气动阀与所述控制器连接。

4.根据权利要求1所述的反应腔室的压力控制系统，其特征在于，所述真空泵为防腐蚀隔膜真空泵，所述真空泵的出气口与设备排酸管道连接。

5.根据权利要求1所述的反应腔室的压力控制系统，其特征在于，所述缓冲冷凝容器为石英或金属材质，并且与真空接触部分涂有耐腐蚀涂层。

6.根据权利要求3所述的反应腔室的压力控制系统，其特征在于，所述气动阀为PFA或金属材质。

7.根据权利要求1所述的反应腔室的压力控制系统，其特征在于，所述缓冲过滤容器为PFA材质。

8.一种反应腔室的压力控制方法，利用如权利要求1-7中的一项所述的反应腔室的压力控制系统进行压力控制，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1：真空泵开启，尾气管所接收的反应腔室的输出尾气进入排气管；

步骤S2：压力传感器检测所述排气管中的气体压力；

步骤S3：通过调节所述气体质量流量控制器的控制量，以使所述压力传感器采集的反应腔室的压力值在所述设定压力范围内。

9.根据权利要求8所述的反应腔室的压力控制方法，其特征在于，在步骤S3中，当所述压力传感器采集的压力值低于所述设定压力范围的下限时，将所述气体质量流量控制器的控制量设置为预设常量，控制所述进气管补充进气量；当所述压力传感器采集的压力值高于所述设定压力范围的上限时，将所述气体质量流量控制器的控制量设置为零，控制所述进气管停止进气。