[发明专利]精密加工检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201811348874.0 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN111174723B | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 张立 | 申请（专利权）人： | 深圳市圭华智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 张小丽 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种精密加工检测装置及检测方法，该精密加工检测装置包括激光器；样品台，样品台用于承载加工样品并能够带动加工样品运动；衍射光学元件，衍射光学元件位于激光器与加工样品之间的光路上并对激光器出射的激光进行衍射；合束镜，合束镜位于衍射光学元件与加工样品之间的光路上，能够透射自衍射光学元件出射的光束并反射自加工样品出射的光束；高量子效率相机，高量子效率相机接收自加工样品出射并被合束镜反射的光束以获得干涉图案；及三维轮廓合成模块，三维轮廓合成模块能够根据高量子效率相机获得的干涉图案合成加工样品的三维轮廓信息以检测精密加工效果。本发明具有检测成本低、检测及时且耗时短的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 加工 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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