[发明专利]精密加工检测装置及检测方法

说明书

本发明提供一种精密加工检测装置及检测方法，该精密加工检测装置包括激光器；样品台，样品台用于承载加工样品并能够带动加工样品运动；衍射光学元件，衍射光学元件位于激光器与加工样品之间的光路上并对激光器出射的激光进行衍射；合束镜，合束镜位于衍射光学元件与加工样品之间的光路上，能够透射自衍射光学元件出射的光束并反射自加工样品出射的光束；高量子效率相机，高量子效率相机接收自加工样品出射并被合束镜反射的光束以获得干涉图案；及三维轮廓合成模块，三维轮廓合成模块能够根据高量子效率相机获得的干涉图案合成加工样品的三维轮廓信息以检测精密加工效果。本发明具有检测成本低、检测及时且耗时短的优势。

技术领域

本发明涉及精密加工技术领域，尤其涉及一种精密加工检测装置及检测方法。

背景技术

现有技术中，一般采用白光干涉仪和显微镜对精密加工的样品轮廓进行检测，但存在检测设备价格昂贵且检测耗时较长的问题。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明的目的是提供一种能够降低检测成本和检测时长的精密加工检测装置及检测方法。

为了实现上述目的，本发明提供一种精密加工检测装置，包括：

激光器，所述激光器能够产生并出射激光；

样品台，所述样品台用于承载加工样品并能够带动所述加工样品运动，以使所述激光器出射的激光能够在所述加工样品表面移动进行精密加工；

衍射光学元件，所述衍射光学元件位于所述激光器与所述加工样品之间的光路上并对所述激光器出射的激光进行衍射；

合束镜，所述合束镜位于所述衍射光学元件与所述加工样品之间的光路上，能够透射自所述衍射光学元件出射的光束并反射自所述加工样品出射的光束；

高量子效率相机，所述高量子效率相机接收自所述加工样品出射并被所述合束镜反射的光束以获得干涉图案；及

三维轮廓合成模块，所述三维轮廓合成模块能够根据所述高量子效率相机获得的干涉图案合成所述加工样品的三维轮廓信息以检测精密加工效果；其中，

入射至所述加工样品表面的光束部分被吸收用于精密加工，剩余部分形成自所述加工样品出射的光束。

为了实现上述目的，本发明还提供一种精密加工检测方法，包括以下步骤：

采用激光器产生激光并将所述激光器出射的激光依次经过衍射光学元件的衍射及合束镜的透射汇聚至加工样品表面；

采用高量子效率相机接收自所述加工样品表面出射并被所述合束镜反射的光束以获得干涉图案；及

采用三维轮廓合成模块根据所述高量子效率相机获得的干涉图案合成所述加工样品的三维轮廓信息。

本发明提供的精密加工检测装置及检测方法通过激光器、衍射光学元件、合束镜、高量子效率相机及三维轮廓合成模块实现了精密加工样品的实时在线检测。相比于现有技术，具有检测成本低、检测及时且耗时短的优势。

附图说明

图1为本发明一实施例提供的精密加工检测装置的结构示意图。

图2为本发明一实施例提供的精密加工检测方法的流程图。

主要元件符号说明

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式