[发明专利]精密加工检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种精密加工检测装置，其特征在于：包括：

激光器，所述激光器能够产生并出射激光；

样品台，所述样品台用于承载加工样品并能够带动所述加工样品运动，以使所述激光器出射的激光能够在所述加工样品表面移动进行精密加工；

衍射光学元件，所述衍射光学元件位于所述激光器与所述加工样品之间的光路上并对所述激光器出射的激光进行衍射；

合束镜，所述合束镜位于所述衍射光学元件与所述加工样品之间的光路上，能够透射自所述衍射光学元件出射的光束并反射自所述加工样品出射的光束；

高量子效率相机，所述高量子效率相机接收自所述加工样品出射并被所述合束镜反射的光束以获得干涉图案；及

三维轮廓合成模块，所述三维轮廓合成模块能够根据所述高量子效率相机获得的干涉图案合成所述加工样品的三维轮廓信息以检测精密加工效果；其中，

入射至所述加工样品表面的光束部分被吸收用于精密加工，剩余部分形成自所述加工样品出射的光束。

2.如权利要求1所述的精密加工检测装置，其特征在于：所述精密加工检测装置还包括位于所述激光器与所述衍射光学元件之间的光路上的光束整形元件，所述光束整形元件能够对所述激光器出射的激光进行调整以获得合适光斑大小和发散角的光束。

3.如权利要求2所述的精密加工检测装置，其特征在于：所述精密加工检测装置还包括位于所述光束整形元件与所述衍射光学元件之间的光路上的反射镜，自所述光束整形元件出射的光束经过所述反射镜的反射后入射至所述衍射光学元件。

4.如权利要求1所述的精密加工检测装置，其特征在于：所述精密加工检测装置还包括位于所述合束镜与所述加工样品之间的光路上的聚光元件，以对所述合束镜出射的光束进行聚焦。

5.如权利要求4所述的精密加工检测装置，其特征在于：所述聚光元件包括聚焦透镜与显微目镜。

6.如权利要求1所述的精密加工检测装置，其特征在于：所述精密加工检测装置还包括运动控制模块，所述运动控制模块与所述样品台相连并能够控制所述样品台运动。

7.如权利要求6所述的精密加工检测装置，其特征在于：所述三维轮廓合成模块分别与所述激光器及所述运动控制模块相连，并能够在所述加工样品的三维轮廓信息表明精密加工不达标时停止所述激光器出射激光并通过所述运动控制模块停止所述样品台运动。

8.一种适用于权利要求1～7任意一项所述的精密加工检测装置的检测方法，其特征在于：包括以下步骤：

采用激光器产生激光并将所述激光器出射的激光依次经过衍射光学元件的衍射及合束镜的透射汇聚至加工样品表面；

采用高量子效率相机接收自所述加工样品表面出射并被所述合束镜反射的光束以获得干涉图案；及

采用三维轮廓合成模块根据所述高量子效率相机获得的干涉图案合成所述加工样品的三维轮廓信息。

9.如权利要求8所述的检测方法，其特征在于：所述检测方法还包括以下步骤：将所述加工样品放置于样品台上，并通过运动控制模块控制所述样品台带动所述加工样品运动。

10.如权利要求9所述的检测方法，其特征在于：所述检测方法还包括以下步骤：所述三维轮廓合成模块在合成的三维轮廓信息表明精密加工不达标时控制所述激光器停止出射激光并通过所述运动控制模块停止所述样品台运动。