[发明专利]用于高效薄膜太阳电池的氧化锌透明导电薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201811338615.X | 申请日： | 2018-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN109207925B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 王延峰;韩冰;田野;孟旭东;杨富;李俊杰 | 申请（专利权）人： | 河北北方学院 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 西安汇恩知识产权代理事务所(普通合伙) 61244 | 代理人： | 孔德超 |
| 地址： | 075000 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： |
用于高效薄膜太阳电池的氧化锌透明导电薄膜的制备方法，本发明涉及透明导电氧化物薄膜技术领域；以低掺杂比例三氧化二铝和氟化镁共掺杂氧化锌为靶材；在去离子水中混入电子清洗液，利用超声清洗机对玻璃衬底清洗10min，然后再放入去离子水中超声清洗10min，最后用N |
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| 搜索关键词： | 用于 高效 薄膜 太阳电池 氧化锌 透明 导电 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.用于高效薄膜太阳电池的氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：它的操作步骤如下：(1)、以低掺杂比例三氧化二铝和氟化镁共掺杂氧化锌为靶材；(2)、在去离子水中混入电子清洗液，利用超声清洗机对玻璃衬底清洗10min，然后再放入去离子水中超声清洗10min，最后用N2吹干；(3)、将清洗干净的玻璃衬底放入真空腔室，然后对腔室进行抽真空处理，待真空度小于5×10‑5Pa，向腔室通入氩气，调节腔内溅射气压，达到预设值；(4)、开启溅射电源进行预溅射处理5min，然后开始在玻璃衬底沉积ZnO薄膜。
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