[发明专利]用于高效薄膜太阳电池的氧化锌透明导电薄膜的制备方法

权利要求书

1.用于高效薄膜太阳电池的氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：它的操作步骤如下：

(1)、以低掺杂比例三氧化二铝和氟化镁共掺杂氧化锌为靶材，该低掺杂比例三氧化二铝和氟化镁共掺杂氧化锌靶材中的Al₂O₃、MgF₂与ZnO的质量比分别为0.25～1％和0.5～2％；

(2)、在去离子水中混入电子清洗液，利用超声清洗机对玻璃衬底清洗10min，然后再放入去离子水中超声清洗10min，最后用N₂吹干；

(3)、将清洗干净的玻璃衬底放入真空腔室，然后对腔室进行抽真空处理，待真空度小于5×10^-5Pa，向腔室通入氩气，调节腔内溅射气压，达到预设值；

(4)、开启溅射电源进行预溅射处理5min，然后开始在玻璃衬底沉积ZnO薄膜。

2.根据权利要求1所述的用于高效薄膜太阳电池的氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述的共掺杂氧化锌靶材为三氧化二铝和氟化镁共掺杂的氧化锌陶瓷靶。

3.根据权利要求1所述的用于高效薄膜太阳电池的氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述的衬底温度为200℃～500℃。

4.根据权利要求1所述的用于高效薄膜太阳电池的氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述氩气的流量为20～80sccm，溅射气压0.3～1.0Pa。

5.根据权利要求1所述的用于高效薄膜太阳电池的氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述氧化锌薄膜的厚度为0.3～2μm，迁移率30.49cm²/Vs，载流子浓度2×10²⁰cm^-3，电阻率～10^-4Ω·cm，方块电阻2～10Ω/□，380-1200nm平均透过率大于90％。

6.根据权利要求1所述的用于高效薄膜太阳电池的氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述高效薄膜太阳电池为硅基薄膜、碲化镉、铜铟镓硒、钙钛矿等单结及多结叠层薄膜太阳电池中的一种或多种。