[发明专利]蚀刻液及蚀刻液的制备方法有效

专利信息
申请号: 201811337370.9 申请日: 2018-11-12
公开(公告)号: CN109536961B 公开(公告)日: 2021-03-30
发明(设计)人: 杨丁;黄双武 申请(专利权)人: 深圳市中科东明表面处理新材料技术有限公司;博罗县东明化工有限公司;博罗县东明新材料研究所
主分类号: C23F1/18 分类号: C23F1/18
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 叶剑
地址: 518101 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及一种蚀刻液及蚀刻液的制备方法,蚀刻液包括如下质量浓度的各组分:过硫酸铵150克/升‑350克/升;稳定剂10克/升‑110克/升;促进剂0.01克/升‑0.05克/升;表面活性剂0.001克/升‑0.5克/升;水余量。上述蚀刻液,相对于传统的蚀刻液,未含氯,因此,蚀刻液体系中未包含氯离子,不会对环境产生污染,消除了因氯离子所造成的环境及大气污染,有利于清洁生产。且在蚀刻过程中,铣切速度较快,能够适用于铜基线路板的化学铣切。
搜索关键词: 蚀刻 制备 方法
【主权项】:
1.一种蚀刻液,其特征在于,包括如下质量浓度的各组分:
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