[发明专利]一种金属表面局部区域精确腐蚀的方法在审
| 申请号： | 201811336737.5 | 申请日： | 2018-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN109208001A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 路超;陈丕恒;廖益传;杨振飞;史鹏;法涛 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C25F3/14 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 吕玲 |
| 地址： | 621700 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及检测领域，具体为一种金属表面局部区域精确腐蚀的方法。该方法针对金属材料的腐蚀，样品镶样后，待腐蚀面研磨抛光，进行耐腐蚀掩膜处理，除去抛光面掩膜位置的局部掩膜区域，露出金属面的局部区域，采用自然腐蚀或加速腐蚀方法腐蚀露出的金属局部区域，去掉所有掩膜就得到局部腐蚀样品。可对任意形状样品的任意表面进行腐蚀；局部腐蚀区域可以是点、线或面；局部腐蚀区域的数量、大小、形状、位置、腐蚀深度可以精确控制；可制备具有一致性的一系列标准样品。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀 局部区域 局部腐蚀 掩膜 金属表面 金属 金属材料 标准样品 加速腐蚀 检测领域 形状样品 研磨抛光 掩膜区域 腐蚀面 耐腐蚀 抛光面 镶样 制备 | ||
【主权项】：
1.一种金属表面局部区域精确腐蚀的方法，其特征在于包括以下步骤：样品镶样后，将待腐蚀面研磨抛光，进行耐腐蚀掩膜处理，除去抛光面掩膜位置的局部掩膜区域，露出金属面的局部区域，采用自然腐蚀或加速腐蚀方法腐蚀露出的金属局部区域，去掉所有掩膜就得到局部腐蚀样品。
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