[发明专利]硅通孔检测电路及其检测方法、集成电路在审
| 申请号： | 201811333520.9 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN111175630A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 林祐贤;吕翼君;杨正杰 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/52;G01R1/30 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开是关于一种硅通孔检测电路及其检测方法、集成电路，该硅通孔检测电路包括第一检测模块和第二检测模块，第一检测模块，包括：第一比较单元、第一输入单元和第一开关单元，第一输入单元用于在第一时钟信号控制下将输入信号传输至所述第一比较单元的第一输入端；第一开关单元用于在第一检测控制信号控制下将第一节点的信号传输至所述第一比较单元的第二输入端，所述第一节点连接于硅通孔的第一端；第二检测模块，包括：第二输入单元和第二开关单元，第二输入单元用于在第二时钟信号控制下将所述输入信号传输至第二节点；第二开关单元用于在第二检测控制信号控制下将第二节点的信号传输至硅通孔的第二端。 | ||
| 搜索关键词： | 硅通孔 检测 电路 及其 方法 集成电路 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司，未经长鑫存储技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811333520.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
