[发明专利]亚真空低温等离子体在线连续材料处理装置在审
| 申请号： | 201811310125.9 | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN110139457A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 万京林;李瞳玥;万良淏 | 申请（专利权）人： | 南京苏曼等离子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 戴朝荣 |
| 地址： | 211178 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种亚真空低温等离子体在线连续材料处理装置，包括放卷机构、亚真空低温等离子体材料处理设备和放卷机构，亚真空低温等离子体材料处理设备包括一个以上的主腔体和多级真空缓冲腔体，主腔体位于中间，各级缓冲腔体对称分布于主腔体两侧，沿着材料的走向依次排布，所述主腔体与缓冲腔体之间或相邻缓冲腔体之间通过隔板封闭，隔板中部设有通孔，亚真空低温等离子体材料处理设备的电极组贯穿主腔体和各缓冲腔体，材料从电极组的放电间隙中穿过，所述主腔体的真空范围为99900～10Pa。本发明可实现在亚真空环境下，对一定宽幅范围内的材料的连续处理，且相较于常压低温等离子体处理装置对材料具有更好的处理效果，工作效率高，工作稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 亚真空 主腔体 低温等离子体 缓冲腔体 材料处理设备 处理装置 隔板 放卷机构 连续材料 电极组 常压低温等离子体 真空缓冲腔体 工作效率高 对称分布 放电间隙 工作稳定 连续处理 宽幅 排布 通孔 穿过 封闭 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种亚真空低温等离子体在线连续材料处理装置，包括放卷机构（1）、亚真空低温等离子体材料处理设备（2）和收卷机构（4），其特征在于：所述亚真空低温等离子体材料处理设备（2）包括一个以上的主腔体（16）和多级真空缓冲腔体（19），主腔体（16）位于中间，各级缓冲腔体（19）对称分布于主腔体（16）两侧，沿着所需处理材料的走向依次排布，所述主腔体（16）与缓冲腔体（19）之间或相邻缓冲腔体（19）之间通过隔板封闭，所述隔板中部设有介质阻挡结构电极组和材料通过的通孔，亚真空低温等离子体材料处理设备（2）的电极组贯穿主腔体（19）和各缓冲腔体（19），材料从电极组的放电间隙中穿过，所述主腔体（16）的真空范围为99900～10Pa。
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