[发明专利]亚真空低温等离子体在线连续材料处理装置

权利要求书

1.一种亚真空低温等离子体在线连续材料处理装置，包括放卷机构（1）、亚真空低温等离子体材料处理设备（2）和收卷机构（4），其特征在于：

所述亚真空低温等离子体材料处理设备（2）包括一个以上的主腔体（16）和多级真空缓冲腔体（19），主腔体（16）位于中间，各级缓冲腔体（19）对称分布于主腔体（16）两侧，沿着所需处理材料的走向依次排布，所述主腔体（16）与缓冲腔体（19）之间或相邻缓冲腔体（19）之间通过隔板封闭，所述隔板中部设有介质阻挡结构电极组和材料通过的通孔，亚真空低温等离子体材料处理设备（2）的电极组贯穿主腔体（19）和各缓冲腔体（19），材料从电极组的放电间隙中穿过，所述主腔体（16）的真空范围为99900～10Pa。

2.根据权利要求1所述的一种亚真空低温等离子体在线连续材料处理装置，其特征在于，所述电极组的外表面贴靠紧靠通孔内，所述放电间隙控制在1-300mm之间。

3.根据权利要求1所述的一种亚真空低温等离子体在线连续材料处理装置，其特征在于，所述电极组包括正相位高压电极组和负相位高压电极组，所述正相位高压电极组包括一个以上的正相位高压电极，负相位高压电极组包括一个以上的负相位高压电极，正相位高压电极与等离子体激励电源的正相位高压输出端连接，负相位高压电极与等离子体激励电源的负相位高压输出端连接。

4.根据权利要求3所述的一种亚真空低温等离子体在线连续材料处理装置，其特征在于，所述等离子体激励电源为差分电源，其正相位高压输出端与负相位高压输出端的输出幅度大小相等，相位相反。

5.根据权利要求1所述的一种亚真空低温等离子体在线连续材料处理装置，其特征在于，两个最外侧缓冲腔体（19）的外侧一端分别设有气氛进口（８），所述气氛进口（８）与气氛气瓶（11）连接。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的一种亚真空低温等离子体在线连续材料处理装置，其特征在于，所述电极组采用内部设有金属空心管，外部覆盖刚玉、石英或陶瓷阻挡介质的电极，所述金属空心管与风机连接，进行通风冷却。