[发明专利]MEMS微梁结构优化方法、装置、计算机设备和存储介质有效
| 申请号： | 201811306025.9 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN109726425B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 朱军华;董显山;黄钦文;恩云飞;刘人怀 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） |
| 主分类号： | G06F30/17 | 分类号： | G06F30/17;B81B7/02 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 陈金普 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种MEMS微梁结构优化方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：获取MEMS微梁的静态特性参数、动态特性参数以及结构参数；根据静态特性参数、动态特性参数和结构参数，获取MEMS微梁的结构修正参数；采用MEMS微梁的理论模型处理结构参数和结构修正参数，得到MEMS微梁的修正模型；根据修正模型，优化MEMS微梁的结构，从而，本申请MEMS微梁结构优化方法能够快速、准确地获取MEMS微梁的修正模型，再基于修正模型优化MEMS微梁的结构设计，进而，提高MEMS微梁的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 结构 优化 方法 装置 计算机 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS微梁结构优化方法，其特征在于，包括以下步骤：获取MEMS微梁的静态特性参数、动态特性参数以及结构参数；根据所述静态特性参数、所述动态特性参数和所述结构参数，获取所述MEMS微梁的结构修正参数；采用所述MEMS微梁的理论模型处理所述结构参数和所述结构修正参数，得到所述MEMS微梁的修正模型；根据所述修正模型，优化所述MEMS微梁的结构。
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