[发明专利]一种防报警的热交换系统有效
| 申请号： | 201811303516.8 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN109468610B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 朱亮;柳小敏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;F28F27/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种防报警的热交换系统，包括热交换装置、第一腔体、第二腔体、第一进水管路、第一出水管路、第二进水管路、第二出水管路，第一出水支管路，所述第一出水支管路分别与所述第一出水管路换热所述热交换装置连通；第二出水支管路，第二出水支管路分别与所述第二出水管路和所述热交换装置连通；所述第一出水支管路的内径小于所述第一出水管路的内径，所述第二出水支管路的内径小于所述第二出水管路的内径。其优点在于，通过设置小口径的出水支管路，使得腔体在完成PM过程后，腔体内的低温冷却水能够缓慢进入热交换装置内，从而避免低温冷却水短时间大流量进入热交换装置内，使得热交换装置内的冷却水不会大幅度降温，避免出现报警状况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 报警 热交换 系统 | ||
【主权项】：
1.一种防报警的热交换系统，用于物理气相沉积机台，包括热交换装置(1)、第一腔体(2)、第二腔体(3)，所述热交换装置(1)与所述第一腔体(2)通过第一进水管路(4)和第一出水管路(5)形成第一循环回路，所述热交换装置(1)与所述第二腔体(3)通过第二进水管路(6)和第二出水管路(7)形成第二循环回路，所述第一进水管路(4)上设置有第一阀门(8)，所述第二进水管路(6)上设置有第二阀门(9)，其特征在于，还包括：第一出水支管路(10)，所述第一出水支管路(10)的第一端与所述第一出水管路(5)连通，所述第一出水支管路(10)的第二端与所述热交换装置(1)连通；第二出水支管路(11)，所述第二出水支管路(11)的第一端与所述第二出水管路(7)连通，所述第二出水支管路(11)的第二端与所述热交换装置(1)连通；所述第一出水管路(5)上设置有第三阀门(12)，所述第二出水管路(7)上设置有第四阀门(13)；所述第一出水支管路(10)的内径小于所述第一出水管路(5)的内径，所述第二出水支管路(11)的内径小于所述第二出水管路(7)的内径。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811303516.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
