[发明专利]一种防报警的热交换系统

说明书

本发明涉及一种防报警的热交换系统，包括热交换装置、第一腔体、第二腔体、第一进水管路、第一出水管路、第二进水管路、第二出水管路，第一出水支管路，所述第一出水支管路分别与所述第一出水管路换热所述热交换装置连通；第二出水支管路，第二出水支管路分别与所述第二出水管路和所述热交换装置连通；所述第一出水支管路的内径小于所述第一出水管路的内径，所述第二出水支管路的内径小于所述第二出水管路的内径。其优点在于，通过设置小口径的出水支管路，使得腔体在完成PM过程后，腔体内的低温冷却水能够缓慢进入热交换装置内，从而避免低温冷却水短时间大流量进入热交换装置内，使得热交换装置内的冷却水不会大幅度降温，避免出现报警状况。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种防报警的热交换系统。

背景技术

在物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)机台中，两个TxZ腔体共同使用同一个热交换装置，热交换装置为两个腔体提供65℃的冷却水，系统如图1所示。当其中任一一个腔体进行预防性维护(Preventive Maintenance，PM)时，需要断开热交换装置与该腔体之间的冷却水循环回路。在PM过程中，65℃的冷却水在腔体内部停留时间过长，导致冷却水温度降至室温，在PM完成后，重新将该腔体与热交换装置之间冷却水循环回路连接，此时腔体内的低温的冷却水短时间内大量进入热交换装置，使得热交换装置内的温度大幅度低于65℃，进而导致热交换装置因低温报警。

现有的解决方法是认为多次缓慢打开与该腔体连通的阀门，从而对冷却水的流量进行控制，防止热交换装置报警。但是这种解决方法操作繁琐，耗时较长，且不易控制，使得热交换装置出现报警。

因此，亟需一种能够避免低温冷却水短时间大量进入热交换装置的热交换系统，防止热交换装置报警，减少操作步骤，提高工作效率。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术中的不足，提供一种防报警的热交换系统。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案是：

一种防报警的热交换系统，用于物理气相沉积机台，包括热交换装置、第一腔体、第二腔体，所述热交换装置与所述第一腔体通过第一进水管路和第一出水管路形成第一循环回路，所述热交换装置与所述第二腔体通过第二进水管路和第二出水管路形成第二循环回路，所述第一进水管路上设置有第一阀门，所述第二进水管路上设置有第二阀门，还包括：

第一出水支管路，所述第一出水支管路的第一端与所述第一出水管路连通，所述第一出水支管路的第二端与所述热交换装置连通；

第二出水支管路，所述第二出水支管路的第一端与所述第二出水管路连通，所述第二出水支管路的第二端与所述热交换装置连通；

所述第一出水管路上设置有第三阀门，所述第二出水管路上设置有第四阀门；

所述第一出水支管路的内径小于所述第一出水管路的内径，所述第二出水支管路的内径小于所述第二出水管路的内径。

优选地，所述第一出水支管路上设置有第一单向阀，所述第二出水支管路上设置有第二单向阀。

优选地，所述第一出水支管路的内径与所述第一出水管路的内径之比小于1/2。

优选地，所述第二出水支管路的内径与所述第二出水管路的内径之比小于1/2。

优选地，所述第一出水支管路的内径与所述第二出水支管路的内径相同。

优选地，所述第一出水支管路与所述第二出水支管路连通，所述第一出水支管路与所述第二出水支管路形成第三出水管路，所述第三出水管路呈“T”形；

所述第三出水管路的第一端与所述第一出水管路连通，所述第三出水管路的第二端与所述第二出水管路连通，所述第三出水管路的第三端与所述热交换装置连通。