[发明专利]一种MEMS环形螺线管电感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201811277260.8 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN109326421B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 陶智;李海旺;徐天彤;吴瀚枭 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | H01F27/26 | 分类号： | H01F27/26;H01F27/28;H01F27/30;H01F41/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;李相雨 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种MEMS环形螺线管电感器，包括：硅衬底、环形软磁铁芯和螺线管；其中，所述环形软磁铁芯包裹在所述硅衬底内部，所述硅衬底上设置有螺旋孔道，且所述环形软磁铁芯穿过所述螺旋孔道的中心，所述螺线管设置在所述螺旋孔道中。通过将电感器的环形软磁铁芯及螺线管全部设置在硅衬底的内部，充分利用了硅衬底的厚度，得到的电感器的绕组横截面积更大，提高了磁通量，使得电感器的电感值增大；同时，硅衬底能够对环形软磁铁芯及螺线管起到保护作用，提高了电感器的强度，抗冲击性能好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 环形 螺线管 电感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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