[发明专利]可控硅静电保护器件有效
申请号: | 201811253429.6 | 申请日: | 2018-10-25 |
公开(公告)号: | CN109411468B | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 吴铭;陈卓俊;曾云;彭伟;吴志强 | 申请(专利权)人: | 湖南大学 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 何世磊 |
地址: | 410082 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种可控硅静电保护器件,包括衬底、埋氧层、N阱以及P阱,在N阱内设有第一P+注入区、第一多晶硅栅、第二P+注入区以及第四N+注入区,在P阱内设有第一N+注入区、第二多晶硅栅、第二N+注入区以及第四P+注入区,第三P+注入区与第三N+注入区跨接在N阱与P阱之间的交界处,第一P+注入区与阳极相连,第一N+注入区与阴极相连,第一P+注入区、第一多晶硅栅、第二P+注入区与N阱构成PMOS管,第一N+注入区、第二多晶硅栅、第二N+注入区与P阱构成NMOS管。本发明具有低触发电压、高维持电压、结构简单、易于集成以及鲁棒性高等优点,适用于器件以及电路的静电保护。 | ||
搜索关键词: | 可控硅 静电 保护 器件 | ||
【主权项】:
1.一种可控硅静电保护器件,其特征在于,包括衬底、设于所述衬底内的埋氧层、设于所述埋氧层内的N阱以及P阱,在所述N阱内设有第一P+注入区、第一多晶硅栅、第二P+注入区以及第四N+注入区,在所述P阱内设有第一N+注入区、第二多晶硅栅、第二N+注入区以及第四P+注入区,第三P+注入区与第三N+注入区跨接在所述N阱与所述P阱之间的交界处,所述第一P+注入区与阳极相连,所述第一N+注入区与阴极相连,所述第一P+注入区、所述第一多晶硅栅、所述第二P+注入区与所述N阱构成PMOS管,所述第一N+注入区、所述第二多晶硅栅、所述第二N+注入区与所述P阱构成NMOS管。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的