[发明专利]一种采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法

摘要

本发明提供了一种采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法，该方法采用原子层沉积法，以二乙基锌为锌源，以蒸馏水为氧源，在柔性丝素纳米纤维表面沉积氧化锌纳米管，通过将二乙基锌与蒸馏水交替通入原子层沉积系统的反应腔内，实现了氧化锌在柔性纳米纤维上的沉积。本方法制得的氧化锌/柔性纳米纤维衬底具有成本低，薄膜成分和厚度精确可控，三维均匀保型性好等优点，同时提高了氧化锌的光催化性能。

主权项

1.一种采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)采用静电纺丝法制备丝素纳米纤维衬底，备用；2)以二乙基锌为锌源，蒸馏水为氧源，在丝素纳米纤维衬底沉积氧化锌纳米管；将二乙基锌装入原子层沉积系统专用液态源钢瓶中，并维持钢瓶的温度，将蒸馏水装入所述钢瓶中，备用；3)将步骤1)制备的丝素纳米纤维衬底放入原子层沉积系统的反应腔中，将反应腔的温度升后保温，使丝素纳米纤维衬底均匀受热；4)设置沉积参数：分别设置二乙基锌和蒸馏水源的载气流量、脉冲时间和清洗时间；设置专用管路的流量，保证原子层沉积系统的反应腔中的压强维持在800～1200Pa；5)按照步骤4)设置的参数在丝素纳米纤维衬底上进行循环沉积，得到在柔性丝素纳米纤维衬底上均匀覆盖氧化锌的柔性材料，并通过控制循环沉积的次数调控氧化锌的厚度。