[发明专利]一种具有刻蚀孔及分块式上电极的微机电压电超声波换能器在审
| 申请号： | 201811238777.6 | 申请日： | 2018-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN109261477A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 谢金;杨邓飞;陈旭颖 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 傅朝栋;张法高 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有刻蚀孔及分块式上电极的微机电压电超声波换能器。换能器设有基底、结构层、底电极、压电层、上电极。换能器工作原理是利用正、逆压电效应实现机械能到电能或电能到机械能的转换。本发明将原为方形环结构的上电极及压电层切分为四块等面积矩形结构，这种结构可以减少上电极与底电极的正对面积，从而减少寄生电容，提高超声波换能器的信噪比。同时，在空出的四个边角处刻蚀出小孔，这样有利于降低振膜的刚度，提高换能器的发射灵敏度，进而弥补减少上电极面积对换能器发射灵敏度造成的损失。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 超声波换能器 换能器 机械能 微机电压 灵敏度 底电极 分块式 刻蚀孔 压电层 等面积矩形 方形环结构 逆压电效应 工作原理 寄生电容 发射 边角处 结构层 信噪比 对换 基底 刻蚀 小孔 振膜 正对 转换 | ||
【主权项】：
1.一种具有刻蚀孔及分块式上电极的微机电压电超声波换能器，其特征在于：包括基底(4)、底电极(3)、压电层(2)和上电极(1)，基底(4)背面中间部分开设槽形空腔，使基底(4)正面形成弹性结构层(41)，槽形空腔周边的基底(4)作为弹性结构层(41)的固定端；弹性结构层(41)的正面依次堆叠底电极(3)、压电层(2)和上电极(1)，与弹性结构层(41)共同构成振动薄膜(00)；其中底电极(3)覆盖基底(4)正面，而压电层(2)由4块等面积的矩形单元组成，沿弹性结构层(41)的中心点呈中心对称分布，围成边角缺失的方形环，且4块矩形单元相互不接触；所述的上电极(1)结构与压电层(2)完全相同，上电极(1)的4块矩形单元与压电层(2)的4块矩形单元一一对应重叠；在所述方形环的4个缺失边角处，刻蚀形成贯穿底电极(3)和弹性结构层(41)的通孔阵列；且压电层(2)和上电极(1)都不覆盖小孔。
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