[发明专利]索勒狭缝、X射线衍射装置以及方法

摘要

本发明提供一种索勒狭缝、X射线衍射装置以及方法，即便在基于GIXD的测定中X射线照射区域在试料表面上展宽，检测器上的衍射像在面内方向也不会展宽，能够以短的测定时间且高的分辨率来进行测定。索勒狭缝(100)具备多个金属制的薄板(110)，所述多个金属制的薄板(110)各自相对于底面垂直，相互隔开规定的角度间隔被排列为拱形，使得从特定的焦点向放射方向通过X射线，该索勒狭缝(100)被设置于以掠入射X射线衍射用的角度被照射至试料并在试料面上被衍射的X射线以测角器圆的中心为特定的焦点来通过的位置而被使用。

主权项

1.一种索勒狭缝，其特征在于，具备：多个薄板，各自相对于底面垂直，并且相互隔开规定的角度间隔而排列为拱形，以使得从特定的焦点向放射方向通过X射线，所述索勒狭缝被设置于以掠入射X射线衍射用的角度被照射至试料并在试料面上被衍射的X射线将测角器圆的中心作为所述特定的焦点来通过的位置而被使用。